Научно-технический
«ОПТИЧЕСКИЙ ЖУРНАЛ»
издается с 1931 года
 
   
Русский вариант сайта Английский вариант сайта
   
       
   
       
Статьи последнего выпуска

Электронные версии
выпусков начиная с 2008


Алфавитный указатель
2000-2010 гг


444
Архив оглавлений
выпусков 2002-2007 гг


Реквизиты и адреса

Вниманию авторов и рецензентов!
- Порядок публикации
- Порядок рецензирования статей
- Типовой договор
- Правила оформления
- Получение авторского вознаграждения
- Редакционная этика


Контакты

Подписка

Карта сайта




Журнал с 01.12.2015 допущен ВАК для публикации основных результатов диссертаций как издание, входящее в международные реферативные базы систем цитирования (Web Science, Scopus) (см. Vak.ed.gov.ru/87)
Аннотации (01.2009) : ИСПОЛЬЗОВАНИЕ ЯВЛЕНИЯ МУАРА ДЛЯ УВЕЛИЧЕНИЯ ТОЧНОСТИ ДИФРАКЦИОННЫХ МЕТОДОВ КОНТРОЛЯ ГЕОМЕТРИЧЕСКИХ ПАРАМЕТРОВ И ПРОСТРАНСТВЕННОГО ПОЛОЖЕНИЯ ОБЪЕКТОВ

ИСПОЛЬЗОВАНИЕ ЯВЛЕНИЯ МУАРА ДЛЯ УВЕЛИЧЕНИЯ ТОЧНОСТИ ДИФРАКЦИОННЫХ МЕТОДОВ КОНТРОЛЯ ГЕОМЕТРИЧЕСКИХ ПАРАМЕТРОВ И ПРОСТРАНСТВЕННОГО ПОЛОЖЕНИЯ ОБЪЕКТОВ

© 2009 г. В. Н. Назаров, канд. техн. наук; А. Н. Иванов

 

Санкт-Петербургский государственный университет информационных технологий, механики и оптики, Санкт-Петербург

 

E-mail: i_off@mail.ru

 

Рассмотрен дифракционный метод контроля, позволяющий использовать фазовую составляющую измерительного сигнала, несущую данные о геометрической форме и пространственном положении объекта. Для повышения чувствительности и точности измерений была реализована оптическая система обработки информации, в которой контролируемый объект освещается двумя смещенными в пространстве пучками когерентного излучения. Это позволило ввести фазовый сдвиг между их частотными спектрами при изменении параметров объекта и получить в плоскости регистрации муар-интерференционные полосы, анализируя которые можно получить данные о контролируемом объекте. Дан пример использования метода для исследования формы профиля края объекта.

 

УДК 531.7.082.5; 535.42/44

Коды OCIS: 120.4630, 070.4560, 070.2580.

 

Поступила в редакцию 02.06.2008.

 

ЛИТЕРАТУРА

1. Оптическая голография. Т. 2 / Под ред. Колфилда Г. Пер. с англ. М.: Мир, 1982. 648 с.

2. Pryor T.R., Hageniers O.L., North W.P.T. Diffractographic dimensional measurement. Part 1: Displacement measurement // Appl. Opt. 1972. V. 11. № 2. P. 308-313

3. Иванов А.Н., Назаров В.Н. Дифракционный метод контроля геометрических параметров и пространственного положения объектов с помощью "зеркальной" апертуры // Труды VII Международной конф. "Прикладная оптика-2006". СПб. 2006, Т. 1. С. 97-101.

4. Иванов А.Н., Назаров В.Н. Дифракционный метод контроля на основе "зеркальной" апертуры // Изв. вузов. Приборостроение. 2007. Т. 50. № 4. С.38-42.

5. Назаров В.Н., Линьков А.Е. Дифракционные методы контроля геометрических параметров и пространственного положения объектов // Оптический журнал. 2002. Т. 69. № 2. С. 76-81.

6. Takeda M., Ina H., Kobayashi S. Fourier-transform method of fringe-pattern analysis for computer-based topography and interferometry // JOSA. 1982. V. 72. № 1. P. 156-160.

7. Massig J., Heppner J. Fringe pattern analysis with high accuracy by use of the Fourier-transform method: theory and experimental tests // Appl. Opt. 2001. V. 40. № 13. P. 2081-2088.

8. Гужов В.И., Ильиных С.П. Компьютерная интерферометрия. Новосибирск: изд-во НГТУ, 2004. 252 с.

 

Полный текст  >>>>

Using the moiré effect to increase the accuracy of diffraction methods for monitoring the geometrical parameters and the spatial position of objects

V. N. Nazarov and A. N. Ivanov

This paper discusses a diffraction method of monitoring that makes it possible to use a measurement signal's phase component that carries data concerning the geometrical shape and spatial position of an object. To increase the measurement accuracy and sensitivity, a data-processing optical system was implemented in which the test object is illuminated by two beams of coherent radiation displaced in space. This made it possible to introduce a phase shift between their frequency spectra while varying the parameters of the object and to obtain moiré interference fringes in the recording plane, by analyzing which data can be obtained concerning the test object. An example is given of the use of the method to investigate the shape of the edge profile of an object.