© 2009 г. А. А. Немкова; Э. С. Путилин, доктор техн. наук
Санкт-Петербургский государственный университет информационных технологий, механики и оптики, Санкт-Петербург
E-mail: anastasia.nemkova@yahoo.com
C помощью эллипсометрического и фотометрического методов выполнены измерения показателя преломления пленки на основе тетраэтоксисилана. Показано, что методом эллипсометрии возможно определить не только показатель преломления, но и выявить неоднородность оптического профиля.
УДК 539.232: 681.785.35
Коды OCIS: 120.2130, 120.5240.
Поступила в редакцию 18.09.2008.
ЛИТЕРАТУРА
1. Азам Р., Башара Н. Эллипсометрия и поляризованный свет. М.: Мир, 1981. 252 с.
2. Vedam K. Spectroscopic ellipsometry: a historical overview // Thin Solid Films. 1998. V. 313-314. P. 1-9.
3. Толмачев В.А. Адсорбционно-эллипсометричекий метод исследования оптического профиля, толщины и пористости тонких пленок // Оптический журнал. 1999. Т. 66. № 7. С. 20-34.
4. Крылова Т.Н. Интерференционные покрытия. Л.: Машиностроение, 1973. 224 с.
Полный текст >>>>
Measuring the refractive index of an inhomogeneous antireflection coating
A. A. Nemkova and É. S. Putilin
Ellipsometric and photometric methods are used to measure the refractive index of a film based on tetraethoxy silane. It is shown that the method of ellipsometry makes it possible not only to determine the refractive index but also to detect the inhomogeneity of the optical profile.
