en
Назад
DOI: 10.17586/1023-5086-2024-91-03-95-114
УДК: 520.2.066 + 520.2.062 + 520.2.03 + 681.7.022 + 681.786.5 + 687.7.022.32
Технологии формообразования и методы лазерно-голографического контроля оптических асферических поверхностей в Государственном институте прикладной оптики. Обзор
Лукин А.В. Технологии формообразования и методы лазерно-голографического контроля оптических асферических поверхностей в Государственном институте прикладной оптики. Обзор // Оптический журнал. 2024. Т. 91. № 3. С. 95–114. http://doi.org/10.17586/1023-5086-2024-91-03-95-114
Lukin A.V. Shaping technologies and methods of optical aspherical surfaces laser-holographic control at the State Institute of Applied Optics. А review // Opticheskii Zhurnal. 2024. V. 91. № 3. P. 95–114. http://doi.org/10.17586/1023-5086-2024-91-03-95-114
Предмет исследования. Эволюция технологии формообразования асферических оптических поверхностей различных типов, методы и средства их контроля, метрологическое обеспечение процессов и аппаратуры в Государственном институте прикладной оптики. Цель работы. Обосновать и проиллюстрировать на конкретных примерах актуальность и целесообразность радикальных преобразований в современном серийном оптическом производстве и объективостроении на основе реализации производительных технологий прецизионного фотополимерного реплицирования различных типов оптических поверхностей и лазерно-голографических методов их контроля. Метод. В основе большинства традиционных технологий формообразования асферических рабочих поверхностей оптических элементов (линз, зеркал) лежат шлифование и полирование. Заметное место в производстве асферики занимают станки алмазного микроточения. Особую значимость для серийного и массового изготовления асферических деталей имеют моллирование и реплицирование. Основные результаты. Показано, что для осуществления возможности как уникального, так и серийного изготовления асферической оптики необходимо решение триединой проблемы создания производительных технологий прецизионного формообразования оптических асферических поверхностей, методов и средств их высокоточного контроля и метрологического обеспечения этих технологий и контрольно-измерительной аппаратуры. Такое решение найдено в Государственном институте прикладной оптики на основе технологий прецизионного реплицирования и контроля формы асферических поверхностей методами лазерно-голографической интерферометрии с использованием осевых синтезированных голограмм в качестве образцовых оптических элементов и оптических компенсаторов (нуль-корректоров). Предложена иерархия мастер-матриц: эталонные, контрольные и рабочие, причем эталонные мастер-матрицы для крупносерийного и массового производства асферических оптических элементов целесообразно изготавливать парами (выпуклая + вогнутая). Практическая значимость. В результате резкого роста потребностей оптико-электронного приборостроения в объективах различного назначения (смартфоны, планшеты, цифровые фотоаппараты, тепловизионная аппаратура, системы видеонаблюдения и безопасности и др.) возникла острая необходимость многократного повышения производительности и существенного снижения себестоимости изготовления базовых оптических элементов. Технологии прецизионного реплицирования и лазерно-голографические методы контроля асферических поверхностей открыли принципиальную и практическую возможности решения этой проблемы.
формообразование асферических поверхностей, прецизионное реплицирование, комбинированный оптический элемент, составное крупноформатное зеркало, интерферометрический контроль формы асферических поверхностей, квазиавтоколлимация, подложка с конической рабочей поверхностью, каскад отражательных оптических компенсаторов
Коды OCIS: 240.6700, 160.5470, 110.6770, 350.1260
Список источников:1. Слюсарев Г.Г. Методы расчета оптических систем, 2-е изд. Л.: Машиностроение, 1969. 672 с.
Slyusarev G.G. Optical systems design methods, 2nd ed. [in Russian]. Leningrad: ''Mashinostroenie'' Publ., 1969. 672 p.
2. Карлин О.Г., Кукс В.Г., Липовецкий Л.Е. и др. Изготовление и контроль асферической оптики. М.: ЦНИИ информации, 1980. 272 с.
Karlin O.G., Kuks V.G., Lipovetsky L.Y., et al. Manufacture and testing of aspherical optical elements [in Russian]. Moscow: Central Research Institute of Information Press., 1980. 272 p.
3. Окатов М.А., Антонов Э.А., Байгожин А. и др. Справочник технолога-оптика / под ред. Окатова М.А. СПб.: Политехника, 2004. 679 с.
Okatov M.A., Antonov E.A., Baigozhin A., et al. Reference optics-technologist [in Russian] / Ed. Okatov M.A. St. Petersburg: ''Politekhnika'' Publ., 2004. 679 p.
4. Оптический производственный контроль / под ред. Малакары Д. / пер. с англ. Мазуровой Е.В. и др. под ред. Соснова А.Н. М.: Машиностроение, 1985. 400 с.
Optical shop testing / Ed. by Malakara D. N.Y., Chichester, Brisbone, Toronto: John Wi1ey & sons, Inc., 1978. 862 p.
5. Лукин А.В. Исследование свойств голограмм как оптических элементов и возможностей их применения для контроля качества поверхностей сложной формы // Диссерт. канд. техн. наук. Л.: ГОИ им. С.И. Вавилова, 1975. 180 с.
Lukin A.V. Research on the properties of holograms as optical elements and on the possibilities of their application for quality control of complex shape surfaces [in Russian] // PhD (Engineering) Тhesis. Leningrad: Vavilov State Optical Institute, 1975. 180 p.
6. Пуряев Д.Т. Методы контроля оптических асферических поверхностей. М.: «Машиностроение», 1976. 262 с.
Puryaev D.T. Optical aspherical surfaces control methods [in Russian]. Moscow: ''Mashinostroenie'' Publ., 1976. 262 p.
7. Максутов Д.Д. Изготовление и исследование астрономической оптики. М.: Наука, 1984. С. 16–18.
Maksutov D.D. Manufacture and research of astronomical optics [in Russian]. Moscow: ''Nauka'' Publ., 1984. P. 16–18.
8. Бронштейн Ю.Л. Крупногабаритные зеркальные системы (контроль геометрии, юстировка). М.: ДПК Пресс, 2015. 600 с.
Bronshtein Y.L. Large-size mirror systems (geometry control, alignment) [in Russian]. Moscow: DPK Press, 2015. 600 p.
9. Белозеров А.Ф., Ларионов Н.П., Лукин А.В. и др. Осевые синтезированные голограммные оптические элементы: история развития, применения // Фотоника. 2014. Ч. 1: № 4(46). С. 12–32 / Ч. 2: № 5(47). С. 30–41.
Belozerov A.F., Larionov N.P., Lukin А.V., et al. On-axis computer-generated hologram optical elements: History of development and use [in Russian] // Photonics. 2014. Part 1: № 4(46). P. 12–32 / Part 2: № 5(47). P. 30–41.
10. Научно-производственное объединение «Государственный институт прикладной оптики». Науч.-техн. сб. / под ред. Мирумянца С.О. Казань: изд. Дом Печати, 1997. 348 с.
Scientific and Production Association “State Institute of Applied Optics”. Collected scientific articles [in Russian] / Ed. Mirumyants S.O. Kazan: ''Dom Pechati'' Press., 1997. 348 p.
11. ОСТ 3–4730–80 – ОСТ 3–4732–80. Сборник отраслевых стандартов. Детали оптические с асферическими поверхностями. Метод контроля с использованием синтезированных голограмм.
OST (Industry Standard) 3–4730–80 – OST 3–4732–80. Collection of industry standards. Optical parts with aspherical surfaces. A testing method involving computer-generated holograms [in Russian].
12. Карлин О.Г., Кукс В.Г. Получение оптических деталей с асферическими поверхностями посредством упругого инструмента // ОМП. 1966. № 12. С. 57–61.
Karlin O.G., Kuks V.G. Obtaining optical parts with aspherical surfaces by means of an elastic tool [in Russian] // Soviet Journal of Optical Teсhnology. 1966. № 12. P. 57–61.
13. Хуанг Т. Цифровая голография // в кн. Применение голографии / под ред. Гудмана Дж. М.: Мир, 1973. С. 65–78.
Huang T.S. Digital holography // Proc. IEEE. 1971. V. 59. Iss. 9. P. 1335–1346.
14. Lohmann A.W., Paris D.P. Binary Fraunhofer holograms generated by computer // Appl. Opt. 1967. V. 6. P. 1739–1748.
15. Wyant J.C., Bennett V.P. Using computer generated holograms to test aspheric wavefronts // Appl. Opt. 1972. V. 11. № 12. P. 2833–2839.
16. Lee W., Sampled H. Fourier-transform hologram generated by computer // Appl. Opt. 1970. V. 9. № 3. P. 639–643.
17. MacGowern A.J., Wyant J.C. Computer-generated holograms for testing optical elements // Appl. Opt. 1971. V. 10. P. 619–624.
18. Буйнов Г.Н., Лукин А.В., Мустафин К.С. и др. Голографический способ контроля оптических поверхностей // Авт. свид. № 277269 от 19.03.69 г. Бюлл. изобр. № 24. 1970.
Buynov G.N., Lukin A.V., Mustafin K.S., et al. Holographic control method of optical surfaces [in Russian] // Certificate of Authorship № 277269. Dated 19.03.1969. Bulletin of inventions № 24. 1970.
19. Ларионов Н.П., Лукин А.В., Мустафин К.С. Искусственная голограмма оптической поверхности //Авт. свид. № 371857 от 05.11.1970 г. Бюлл. изобр. № 7. 1978.
Larionov N.P., Lukin A.V., Mustafin K.S. Artificial hologram of the optical surface [in Russian] // Certificate of Authorship № 371857. Dated 05.11.1970. Bulletin of inventions № 7. 1978.
20. Лукин А.В. Голограммные оптические элементы // Оптический журнал. 2007. Т. 74. № 1. С. 80–87.
Lukin A.V. Holographic optical elements // J. Opt. Technol. 2007. V. 74. P. 65–70. https://doi.org/10.1364/JOT.74.000065
21. Лукин А.В. Волновой фронт: некоторые вопросы его восстановления и формообразования в голографии и дифракционной оптике // Фотоника. 2019. Т. 13. № 5. С. 463–467. https://doi.org/10.22184/1993-7296.FRos.2019.13.5.462.467
Lukin A.V. Wavefront: Some issues of its restoration and shaping in holography and diffraction optics // Photonics Russia. 2019. V. 13. № 5. P. 463–467. https://doi.org/10.22184/1993-7296.FRos.2019.13.5.462.467
22. Борн М., Вольф Э. Основы оптики, 2-е изд. / пер. с англ. Бреуса С.Н., Головашкина А.И., Шубина А.А. под ред. Мотулевич Г.П. М.: Наука, 1973. 720 с.
Born M., Wolf E. Principles of optics. London, N.Y., Paris: Pergamon Press Publ., 1970. 808 p.
23. Лукин А.В. Комплекс прецизионных методов и устройств контроля оптических элементов и многокомпонентных центрированных систем на основе осевых синтезированных голограмм // Диссерт. доктора техн. наук. Казань, 2002. 264 с.
Lukin A.V. A set of precision methods and devices for control of optical elements and multicomponent centered systems based on on-axis computer-generated holograms [in Russian] // Dr. Sci. (Engineering) thesis. Kazan, 2002. 264 p.
24. Корольков В.П., Коронкевич В.П., Полещук А.Г. и др. Киноформы: технология, новые компоненты и оптические системы. // Автометрия. 1989. Ч. I: № 3. С. 91–98 / Ч. II: № 4. С. 49–66.
Korolkov V.P., Koronkevich V.P., Poleshchuk A.G., et al. Kinoforms: Technology, new components and optical systems [in Russian] // Avtometriya. 1989. Part I: № 3. P. 91–98 / Part II: № 4. P. 49–66.
25. Pruss C., Reichelt S., Tiziani H.J., et al. Computer-generated holograms in interferometric testing // Opt. Eng. 2004. V. 43. P. 2534–2540. https://doi.org/10.1117/1.1804544
26. Pruss C., Garbusi E., Osten W. Testing aspheres // Optics and Photonics News. 2008. V. 19. Iss. 4. P. 24–29. https://doi.org/10.1364/OPN.19.4.000024
27. Poleshchuk A.G. Computer generated holograms for aspheric optics testing // Proc. SPIE. 7133, Fifth Internat. Symp. Instrumentation Sci. and Technol. January 12, 2009. https://doi.org/10.1117/12.821243
28. Wyant J.C. Computerized interferometric surface measurements // Appl. Opt. 2013. V. 52. № 1. P. 1–8. https://doi.org/10.1364/AO.52.000001
29. IchiokaY., Lohmann A.W. Interferometric testing of large optical components with circular computer holograms // Appl. Opt. 1972. V. 11. № 11. P. 2597–2602.
30. Вуд Р.В. Физическая оптика / Пер. с англ. проф. Афанасьева А.П., проф. Баумгарта К.К., акад. Вавилова С.И. и др. под ред. акад. Рождественского Д.С. М.-Л.: ОНТИ, 1936. 880 с.
Wood R.W. Physical optics. N.Y.: The Macmillan Co. Publ., 1934. 907 p.
31. Буйнов Г.Н., Лукин А.В., Мустафин К.С. Простой метод измерения функции рассеяния оптической системы // Журнал научной и прикладной фотографии и кинематографии. 1971. Т. 16. Вып. 1. С. 46–48.
Buynov G.N., Lukin A.V., Mustafin K.S. A simple way of measuring the scattering function of an optical system [in Russian] // Journal of Scientific and Applied Photography and Cinematography. 1971. V. 16. Iss. 1. P. 46–48.
32. Лукин А.В., Курт В.И., Мельников А.Н. и др. Голографическая поверочная установка на основе комплекта эталонных наборов в составе осевых синтезированных голограмм и основных пробных стекол // Оптический журнал. 2021. Т. 88. № 7. С. 23–27. https://doi.org/10.17586/1023-5086-2021-88-07-23-27
Lukin A.V., Kurt V.I., Melnikov A.N., et al. Holographic calibration setup based on a set of reference kits comprising axial computer-generated holograms and base test plates // J. Opt. Technol. 2021. V. 88. № 7. P. 368–371. https://doi.org/10.1364/JOT.88.000368
33. ГОСТ Р 8.744–2011/ISO/TR 14999–3:2005. Государственная система обеспечения единства измерений. Оптика и фотоника. Интерференционные измерения оптических элементов и систем. Ч. 3. Калибровка и аттестация интерферометров, методика измерений оптических волновых фронтов.
GOST R (Russian National Standard) 8.744–2011/ISO/TR 14999–3:2005. State system for ensuring uniformity of measurements. Optics and photonics. Interference changes of optical elements and systems. Part 3. Calibration and certification of interferometers, methods of measurement optical wave fronts [in Rissian].
34. ГОСТ 2782–82. Стекла пробные для проверки радиусов и формы сферических оптических поверхностей. Технические условия.
GOST (Russian National Standard) 2782–82. Test glasses for checking the radius and shape of spherical optical surfaces. Specifications [in Russian].
35. ГОСТ 1807–75. Радиусы сферических поверхностей оптических деталей. Ряды числовых значений.
GOST (Russian National Standard) 1807–75. Radii of spherical surfaces of optical parts. Rows of numeric values [in Russian].
36. Аверьянова Г.И., Ларионов Н.П., Лукин А.В. и др. Контроль больших асферических поверхностей с помощью круговых искусственных голограмм // ОМП. 1975. № 6. С. 61–63.
Averyanova G.I., Larionov N.P., Lukin A.V., et al. Controlling large aspherical surfaces by using ring holograms // Soviet Journal of Optical Teсhnology. 1975. № 6. P. 61–63.
37. Лукин А.В., Мельников А.Н., Скочилов А.Ф. Новые уникальные возможности лазерно-голографического контроля процессов сборки и юстировки крупноформатных составных зеркал телескопов // Оптический журнал. 2022. Т. 89. № 10. С. 80–94. https://doi.org/10.17586/1023-5086-2022-89-10-80-94
Lukin A.V., Melnikov A.N., Skochilov A.F. New capabilities for laser holographic testing during assembly and collimation of large segmented telescope mirrors // J. Opt. Technol. 2022. V. 89. № 10. P. 615–625. https://doi.org/10.1364/JOT.89.000615
38. Ларионов Н.П., Лукин А.В., Мустафин К.С. и др. Интерферометр радиального сдвига // Авт. свид. № 534644 от 10.08.1973. Бюлл. изобр. 1976. № 41.
Larionov N.P., Lukin A.V., Mustafin K.S., et al. Radial shear interferometer [in Russian] // Certificate of Authorship № 534644. Dated 10.08.1973. Bulletin of inventions 1976. № 41.
39. Лукин А.В., Мустафин К.С.Рафиков Р.А. Получение интерферограмм радиального сдвига // Опт. и спектр. 1975. Т. 38. Вып. 2. С. 350–355.
Lukin A.V., Mustafin K.S., Rafikov R.A. Obtaining radial shear interferograms [in Russian] // Opt. and Spectrosc. 1975. V. 38. № 2. P. 31–35.
40. Комиссарук В.А. Об интерферограмме сдвига в случае волнового фронта, обладающего симметрией вращения // ОМП. 1969. № 7. С. 8–10.
Komissaruk V.A. On shear interferograms under a wavefront possessing rotation symmetry // Soviet Journal of Optical Teсhnology. 1969. № 7. P. 8–10.
41. Hariharan P., Sen D. Interferometric measurements of the aberrations of microscope objectives // Optica Acta. 1962. V. 9. P. 159–166.
42. Кукс В.Г. Шлифование асферических поверхностей оптических деталей полноразмерным инструментом // Оптический журнал. 2012. Т. 79. № 3. С. 43–46.
Kuks V.G. Grinding aspherical surfaces of optical parts using a full-sized tool // J. Opt. Technol. 2012. V. 79. № 3. P. 157–159. https://doi.org/10.1364/JOT.79.000157
43. Электронный ресурс URL: http://millimetron.ru (Астрокосмический центр ФИАН. Космическая обсерватория «Миллиметрон»).
Electronic source URL: http://millimetron.ru (Astronomy Center of the Physical Institute of the Academy of Sciences. “Millimetron” Space Observatory).
44. Лукин А.В., Мельников А.Н., Скочилов А.Ф. Лазерный интерферометр с асферо-голограммным пробным стеклом для термобарокамеры // Оптический журнал. 2017. Т. 84. № 3. С. 65–66.
Lukin A. V., Melnikov A. N., Skochilov A. F. Laser interferometer with aspherical holographic test glass for thermal vacuum chamber // J. Opt. Technol. 2017. V. 84. № 3. P. 212–213. https://doi.org/10.1364/JOT.84.000212
45. Лукин А.В., Мельников А.Н. Прецизионное реплицирование всех видов оптических поверхностей — научно-технологическая основа кардинальных преобразований в современном оптическом производстве // Оптический журнал. 2022. Т. 89. № 10. С. 42–50. https://doi.org/10.17586/1023-5086-2022-89-10-42-50
Lukin A.V., Melnikov A.N. Precision replication of all types of optical surfaces: The scientific and technological basis for radical transformation in modern opti-cal production // J. Opt. Technol. 2022. V. 89. № 10. P. 589–594. https://doi.org/10.1364/JOT.89.000589
46. Лукин А.В., Мельников А.Н. Основные пробные стекла: две новые и актуальные возможности их реализации в оптических технологиях // Фотоника. 2020. Т. 14. № 1 С. 68–74. https://doi.org/10.22184/1993-7296.FRos.2020.14.1.68.74
Lukin A.V., Melnikov A.N. Basic test plates: Two new and relevant uses in optical technologies // Photonics Russia. 2020. V. 14. № 1. P. 68–74. https://doi.org/10.22184/1993-7296.FRos.2020.14.1.68.74
47. Лукин А.В., Гурин Н.А., Мельников А.Н. и др. Опыт применения технологии прецизионного реплицирования для восстановления оптических деталей из брака при серийном производстве // Оптический журнал. 2023. Т. 90. № 7. С. 107–115. http://doi.org/10.17586/1023-5086-2023-90-07-107-115
Lukin A.V., Gurin N.A., Melnikov A.N., et al. Experimental use of precision replication technology to recover optical parts from rejects in batch production // J. Opt. Technol. 2023. V. 90. Iss. 7. P. 417–421. https://doi.org/10.1364/JOT.90.000417
48. Лукин А.В., Мельников А.Н. Основные пробные стекла как эталонные мастер-матрицы для серийного и массового производства сферических зеркал и линз // Оптический журнал. 2020. Т. 87. № 8. С. 49–51. https://doi.org/10.17586/1023-5086-2020-87-08-49-52
Lukin A.V., Melnikov A.N. Base test plates as reference master molds for serial and mass production of spherical mirrors and lenses // J. Opt. Technol. 2020. V. 87. № 8. P. 485–486. https://doi.org/10.1364/JOT.87.000485
49. Захаревич Е.М., Шавва М.А. Современные направления и тенденции в области обработки оптических материалов // Лазер-Информ. 2021. № 4(691). С. 1–3.
Zakharevich Y.M., Shavva M.A. Current trends in optical materials processing [in Russian] // Lazer-Inform. 2021. № 4(691). P. 1–3.
50. Электронный ресурс URL: https://commons.wikimedia.org/wiki/ File:Comparison_optical_telescope_primary_mirrors.svg (Сравнение диаметров главных зеркал основных крупноформатных телескопов по состоянию на март 2021 г.).
Electronic source URL: https://commons.wikimedia.org/wiki/ File:Comparison_optical_telescope_primary_mirrors.svg (Comparison of the diameters of primary mirrors of notable large-sized telescopes as of March 2021).
51. Golubev E.S., Kotsur E.K., Arkhipov M.Yu., et al. Primary mirror panels of the Millimetron space observatory // Proc. SPIE. 2020. V. 11451. P. 114510K-1–114510K-13. https://doi.org/10.1117/12.2562838
52. Герасимов Ф.М. Современные дифракционные решетки // ОМП. 1965. № 10. С. 33–48.
Gerasimov F.M. Modern diffraction gratings [in Russian] // Optical-Mechanical Industry. 1965. № 10. P. 33–48.
53. Теплова Т.Б. Квазипластичное удаление поверхностного слоя твердых хрупких материалов с получением нанометрового рельефа поверхности // Науч. вестн. МГГУ. 2010. № 8. С. 73–88.
Teplova T.B. Quasi-plastic removal of the surface layer of hard brittle materials while obtaining nanometric surface relief [in Russian] // MGGU Scientific Bulletin. 2010. № 8. P. 73–88.
54. Полвека в мире оптики / Под ред. Иванова В.П. Казань: Центр инновационных технологий, 2007. 212 с.
Half a century in the world of optics [in Russian] / Ed. Ivanov V.P. Kazan: Center of Innovative Technologies Press., 2007. 212 p.
55. Островский Ю.И. Голография и ее применение. Л.: Наука, 1973. 180 с.
Ostrovsky Yu.I. Holography and its application [in Russian]. Leningrad: ''Nauka'' Publ., 1973. 180 p.
56. Бобров С.Т., Грейсух Г.И., Туркевич Ю.Г. Оптика дифракционных элементов и систем. Л.: Машиностроение, 1986. 223 с.
Bobrov S.T., Greysukh G.I., Turkevich Y.G. Optics of diffraction elements and systems [in Russian]. Leningrad: ''Mashinostroenie'' Publ., 1986. 223 p.
57. Ларионов Н.П., Лукин А.В., Мустафин К.С. Голографический контроль формы неполированных поверхностей // ОМП. 1972. № 3. С. 35–38.
Larionov N.P., Lukin A.V., Mustafin K.S. Holographic shape control of unpol-ished surfaces // Soviet Journal of Optical Teсhnology. 1972. № 3. P. 35–38.
58. Ларионов Н.П., Лукин А.В., Мустафин К.С. Голографический контроль шлифованных поверхностей в отраженном свете // ОМП. 1973. № 1. С. 66–71.
Larionov N.P., Lukin A.V., Mustafin K.S. Holographic shape control of unpolished surfaces in reflected light // Soviet Journal of Optical Teсhnology. 1973. № 1. P. 66–71.
59. Ларионов Н.П., Лукин А.В., Мустафин К.С. О нерассеянной составляющей лазерного излучения, прошедшего через шероховатую поверхность // Опт. и спектр. 1973. № 35. С. 907–910.
Larionov N.P., Lukin A.V., Mustafin K.S. On the non-dispersed component of laser radiation transmitted through a rough surface [in Russian] // Opt. and Spec-trosc. 1973. № 35. P. 907–910.
60. Городецкий А.А., Ларионов Н.П., Лукин А.В. и др. Голографический контроль выпуклых поверхностей на основе обращения волнового фронта // ОМП. 1983. № 12. С. 53–54.
Gorodetsky A.A., Larionov N.P., Lukin A.V., et al. Holographic control of convex surfaces based on wavefront reversal // Soviet Journal of Optical Teсhnology. 1983. № 12. P. 53–54.
61. Ибрагимов Р.А., Городецкий А.А., Ларионов Н.П. и др. Интерферометр для контроля формы оптических поверхностей // Авт. свид. № 996857. Бюлл. изобр. № 6. 1983.
Ibragimov R.A., Gorodetsky A.A., Larionov N.P., et al. Interferometer for con-trolling the shape of optical surfaces [in Russian] // Certificate of Authorship № 996857. Bulletin of inventions № 6. 1983.
62. Лукин А.В., Мельников А.Н., Скочилов А.Ф. Осевой синтезированный голограммный оптический элемент // Патент РФ № 2766855. 2022.
Lukin A.V., Melnikov A.N., Skochilov A.F. Axial synthesized holographic optical element // RF Patent № 2766855. 2022.
63. Лукин А.В., Мельников А.Н., Скочилов А.Ф. Голографическое устройство для контроля формы крупногабаритных вогнутых асферических оптических поверхностей // Патент РФ на изобретение № 2766851. 2022.
Lukin A.V., Melnikov A.N., Skochilov A.F. Holographic device for controlling the shape of large-size concave aspherical optical surfaces // RF Invention Patent № 2766851. 2022.
64. Лукин А.В., Мельников А.Н., Скочилов А.Ф. и др. О возможностях лазерно-голографического контроля процессов сборки и юстировки составного главного зеркала телескопа на примере космической обсерватории «Миллиметрон» // Оптический журнал. 2017. Т. 84. № 12. С. 45–49.
Lukin A.V., Melnikov A.N., Skochilov A.F., et al. Possibilities of laser-holographic monitoring of assembly and alignment of a segmented primary telescope mirror using the Millimetron space observatory as an example // J. Opt. Technol. 2017. V. 84. № 12. P. 828–832. https://doi.org/10.1364/JOT.84.000828
65. Лукин А.В. К вопросу о когерентных свойствах лазерных источников в интерферометрии и голографии // Оптический журнал. 2012. Т. 79. № 3. С. 91–96.
Lukin A.V. The coherent properties of laser sources in interferometry and holography // J. Opt. Technol. 2012. V. 79. № 3. P. 194–197. https://doi.org/10.1364/JOT.79.000194005.