Анализ поверхности пластин из оптической стеклокерамики посредством интерферометрии управляемого фазового сдвига в ультрафиолетовом диапазоне

Голяева А.Ю., Лобанов П.Ю., Мануйлович И.С., Сидорюк О.Е.

Полный текст на elibrary.ru

Публикация в Journal of Optical Technology

Ссылка для цитирования:

Голяева А.Ю., Лобанов П.Ю., Мануйлович И.С., Сидорюк О.Е. Анализ поверхности пластин из оптической стеклокерамики посредством интерферометрии управляемого фазового сдвига в ультрафиолетовом диапазоне // Оптический журнал. 2021. Т. 88. № 2. С. 66–72. http://doi.org/10.17586/1023-5086-2021-88-02-66-72

Golyaeva A.Yu., Lobanov P.Yu., Manuylovich I.S., Sidoryuk O.E. Analysis of surfaces of plates made of optical glass–ceramics using phase-shifting interferometry in the ultraviolet spectral range [in Russian] // Opticheskii Zhurnal. 2021. V. 88. № 2. P. 66–72. http://doi.org/10.17586/1023-5086-2021-88-02-66-72

Ссылка на англоязычную версию:

A. Yu. Golyaeva, P. Yu. Lobanov, I. S. Manuylovich, and O. E. Sidoryuk, "Analysis of surfaces of plates made of optical glass–ceramics using phase-shifting interferometry in the ultraviolet spectral range," Journal of Optical Technology. 88(2), 106-110 (2021). https://doi.org/10.1364/JOT.88.000106

Аннотация:

В настоящей работе рассмотрены особенности контроля поверхности деталей из оптической стеклокерамики в составе сборных элементов с наличием паяных соединений. Анализ рельефа основан на применении интерферометрии управляемого фазового сдвига с выбором рабочей длины волны лазерного излучения, соответствующей области собственного поглощения материала исследуемых образцов, для исключения помех от межплоскостной интерференции и локальной металлизации. Показано, что предложенный подход может быть успешно использован как при контроле качества элементов датчиков лазерных гироскопов в условиях массового производства, так и в исследовательских работах по поиску оптимальных технологических решений для сборки конструкций из ситалла СО-115М и его аналогов.

Ключевые слова:

оптическая поверхность, профилометр, лазерная интерферометрия, ультрафиолетовое излучение, стеклокерамика, ситалл, Zerodur

Коды OCIS: 120.0120, 120.3180

Список источников:

1. Green K., Burke J., Oreb B. Chemical bonding for precision optical assemblies // Optical Engineering. 2011. V. 50. № 2. 023401. P. 1–12.
2. Kalkowski G., Rissea S., Rothhardtb C., Rohdea M., Eberhardta R. Optical contacting of low-expansion materials // Proc. of SPIE. 2011. V. 8126. 81261F. P. 1–7.
3. Тихменев Н.В., Закурнаев С.А., Озаренко А.В., Быстрицкий В.С., Мягков С.А., Столяров Р.А., Чечетов К.Е., Коршунов С.Е. Влияние методов обработки и очистки ситалла СО-115М на прочность оптического контакта // Научно-технический вестник информационных технологий, механики и оптики. 2016. Т. 16. № 4. С. 613–619.
4. Азарова В.В., Голяев Ю.Д., Савельев И.И. Зеемановские лазерные гироскопы // Квантовая электроника. 2015. Т. 45. № 2. С. 171–179.
5. Surrel Y. Design of algorithms for phase measurements by the use of phase stepping // Appl. Opt. 1996. V. 35. № 1. P. 51–60.
6. Surrel Y. Phase-shifting algorithms for nonlinear, spatially nonuniform phase shifts: comment // J. Opt. Soc. Am. A. 1998. V. 15. № 5. P. 1227–1233.
7. Gierloff J.J. Phase unwrapping by regions // Proc. SPIE. 1987. V. 818. P. 2–9.
8. Herráez M.A., Burton D.R., Lalor M.J., Gdeisat M.A. Fast two-dimensional phase-unwrapping algorithm based on sorting by reliability following a noncontinuous path // Appl. Opt. 2002. V. 41. № 35. P. 7437–7444.
9. Tang H., Basaran C. A damage mechanics-based fatigue life prediction model for solder joints // Transactions of the ASME. 2003. V. 125. № 3. P. 120–125.