Back
Butorin
Pavel
S.
| Affiliation |
| A.F. Ioffe Institute of Physics and Technology, RAS, St. Petersburg, Russia |
|
E-mail: Butorin_ps@mail.ru
ScopusID: 57204240279
ORCID: 0000-0002-6946-276X
Articles
|
Калмыков С.Г., Буторин П.С. Ксеноновая лазерная плазма как источник излучения для литографии на длинах волн вблизи 11 нм // Оптический журнал. 2024. Т. 91. № 6. С. 47–61. http://doi.org/10.17586/1023-5086-2024-91-06-47-61
Kalmykov S.G., Butorin P.S. Xe laser plasma as a radiation source for lithography at wavelengths near 11 nm [in Russian] // Opticheskii Zhurnal. 2024. V. 91. № 6. P. 47–61. http://doi.org/10.17586/1023-5086-2024-91-06-47-61
|
Abstract
|
|
Буторин П.С., Калмыков С.Г. Оптимизация условий возбуждения ксеноновой лазерной плазмы в источнике экстремального ультрафиолетового излучения для нанолитографии с целью повышения его эффективности // Оптический журнал. 2024. Т. 91. № 5. С. 95–104. http://doi.org/10.17586/1023-5086-2024-91-05-95-104
Butorin P.S., Kalmykov S.G. An optimization of conditions for excitation of xenon laser plasma in a source of extreme ultraviolet radiation for nanolithography in order to increase its efficiency [in Russian] // Opticheskii Zhurnal. 2024. V. 91. № 5. P. 95–104. http://doi.org/10.17586/1023-5086-2024-91-05-95-104
|
Abstract
|
